二手 LAM RESEARCH 590 #293595902 待售

LAM RESEARCH 590 蝕刻器/asher是一種常用於半導體製造的先進設備。它是一種化學濕蝕刻機，能夠從1-2000納米的寬度蝕刻特征。蝕刻工藝用於有選擇地從基板上去除材料，從而在這些基板上精確形成圖樣化的特征。590配備了廣泛的功能，以支持蝕刻和ashing。它具有針對低蝕刻速率優化的幹蝕刻室和雙激光-微波等離子體蝕刻技術，能夠實現更高的蝕刻速率和優越的薄膜線緣-粗糙度控制。它還包括一個高度可配置的前端和一個集成的射頻偏置模塊。為了保證高質量的蝕刻，它采用了自動壓力側等離子體控制和專利控制設備來優化蝕刻時間。不銹鋼濕蝕刻室內置了一個用於金屬蝕刻作業的電沈積模塊，最大程度地提高了選擇性。此外，該機器還能夠為各種材料的適當蝕刻環境提供一系列的加工氣體和壓力。它還具有風冷射頻發生器和用於精確氣流的氣體混合面板。LAM RESEARCH 590提供高級流程控制和監控功能,並提供實時流程反饋。它具有強大的高級計算機控制系統，使用戶能夠控制和監控所有蝕刻過程。綜合單元包括安全的高速通信以及先進的安全系統，包括真空試驗機、安全聯鎖和蝕刻氣體輸送工具。590是晶圓蝕刻和灰化的絕佳機器。它以快速的蝕刻循環時間提供了優越的效果，使其成為半導體制造中的寶貴資產。LAM RESEARCH 590具有先進的特點、堅固的設計和易用性,是蝕刻和灰化的絕佳選擇。