二手 LAM RESEARCH 590 #293604251 待售

LAM RESEARCH 590是半導體製造工藝的先進蝕刻器/asher。它的設計提供精確的蝕刻和灰度極小的特點，極精確。該設備集成了一個獨特的功能集,可提供低停機時間的可重復、高質量的蝕刻結果。該系統有一對真空兼容的兩軸線性饋線，作為基板的舞臺。這些送料機用於調整生產速度和準確定位基板。590還有三個高性能的手動/遠程掃描階段,可提供精確的蝕刻規劃。LAM RESEARCH 590的高性能蝕刻單元使用多晶矽剝離、矽濕噴霧清潔劑和Plasma Plus工藝的混合物從基材中去除材料。該工藝具有可單獨調整的蝕刻參數和較高的生產率。該機還具有多站灰井，用於消除蝕刻特征中不必要的材料。590提供獨特的功能,例如石英管蝕刻和自寬蝕刻類型。這些模式使用戶能夠以最小的設置快速準確地生成復雜的模式。LAM RESEARCH 590還有一個基板對準檢測工具，用於監測和調整蝕刻過程中基板的位置。該資產還允許用戶在蝕刻過程中調整生產率。該模型采用高壓夾具技術，確保人員和基板在蝕刻過程中的安全。設備有各種各樣的不同配方，用戶可以對其進行編程，以達到所需的蝕刻效果。這些配方可以從制造商處下載，也可以由用戶開發。此外,系統還支持使用定制的腳本和算法,這些腳本和算法可以減少蝕刻時間並產生更高質量的結果。總之,590是一種可靠、高性能的蝕刻器/蝕刻器,旨在提供準確、可重復的蝕刻結果。該設備具有一系列強大的功能，使其成為最先進的半導體制造系統之一。它還具有用戶友好的編程界面和強大的自定義配方,允許用戶以最高的安全性、準確性和速度獲得最佳效果。