二手 LAM RESEARCH 590 #293604252 待售

LAM RESEARCH 590是一種asher，用作在材料表面上蝕刻/制圖電子元件的過程的一部分。它是一個單晶片的asher，意味著它一次只能處理一個晶片。這提供了更好的工藝控制的優點，從晶圓到晶圓的變化較小，因為一次只有一個晶圓存在於工藝室內。590裝有抗蝕劑預烤室、等離子發生器、氣體歧管。預烤室用於加熱基板表面，以更好地粘附光刻膠。等離子體發生器利用RF和DC電場等能源、化學反應物和工藝氣體的組合創造等離子體環境。氣體歧管以正確的流量和比例向等離子體發生器供應過程氣體。LAM RESEARCH 590的設計支持多種蝕刻工藝，如氧化物蝕刻、氧化物灰、氧化物條和氮化物灰。這是由於其廣泛的加工能力，涵蓋了廣泛的加工氣體，如氯、NF3和CF4and兩種溫度選擇：低（25 °C）和高（90 °C）。低溫選項提供了更高的過程可控性。此外，590還配備了幾個過程監控功能，如實時自動調諧、實時數據記錄（DC<-400v）、晶圓檢測監控系統（WIMS）。這些功能為用戶提供詳細的過程控制和性能數據。LAM RESEARCH 590提供了一個可靠且一致的工藝,用於在材料表面上蝕刻和制圖電子元件。RF電源高達550W,過程溫度高達90°C, 590提供了出色的過程控制和可重復性。LAM RESEARCH 590還配備了多種流程監控選項和功能，使用戶能夠根據自己的特定應用需求量身定制流程。