二手 LAM RESEARCH 590 #293604302 待售

LAM RESEARCH 590 Etcher/Asher是一款雙盒式蝕刻設備,可提供高性能和靈活性,適用於各種應用中的蝕刻和灰化工藝。590旨在為需要在幹燥和潮濕環境中進行高通量蝕刻和灰化的組織提供高效、經濟高效的解決方案。該系統采用直觀的軟件界面構建,可輕松與自動晶圓處理系統集成,以降低人為錯誤的風險。它在溫度控制、氣體和排氣系統、晶圓材料處理、運行結束操作和診斷等方面是通用、模塊化和可定制的。LAM RESEARCH 590是由蝕刻區、清潔區和烘烤區組成的三區機優化而成的高容量蝕刻和灰化裝置。蝕刻區提供了一個快速蝕刻過程，通過負載鎖定工具，最多三個卡帶，允許同時蝕刻多達24個晶圓在一個蝕刻周期。潔凈區設有氣體氧化裝置，以將材料從要重新蝕刻的晶片表面清潔剝離。最後，烘烤區提供易於使用的烘烤資產，烤箱大小的溫度均勻度± 3°C。590還包括一個新的創新氣體管理模式，用於控制和監測蝕刻過程環境氣體流量和壓力。這允許用戶在設備內保持晶片上的正壓邊界，以增強工藝一致性，同時仍然允許蝕刻劑和工藝廢氣的回收利用。最後,LAM RESEARCH 590提供幹灰和濕灰操作。這允許用戶在實驗中實現完美的可重復性，進行快速、高效的蝕刻操作，或者選擇任何類型的幹式或濕式蝕刻工藝。這使得使用590進行各種蝕刻和ashing操作變得簡單，允許用戶進行重復的測試運行，快速調整參數和優化過程結果。