二手 LAM RESEARCH 590 #9145838 待售

LAM RESEARCH 590 蝕刻器/asher是一種自動化的、高性能的等離子體蝕刻和/或灰化設備。它旨在滿足最先進的半導體器件制造商的苛刻要求，可以同時支持研發和生產應用。590以經濟高效的方式利用最先進的技術,提供卓越的性能和過程靈活性。硬件方面，LAM RESEARCH 590由配備上下電極組件的真空室、直流和射頻電源以及一系列工藝-氣體控制和輸送選項組成。該系統有兩個不同的處理室：一個專用的等離子體蝕刻室和一個專用的等離子體灰化室。蝕刻器配有高端射頻發電機和專有的電極組件，而asher則包括定向直流電源。腔室配有熱壁泵機，可提高工藝吞吐量，減少整體維護。此外,該機器還具有一系列工藝-氣體控制和輸送選項,包括用於優化性能的定時噴射工具。在蝕刻工藝方面，590利用基於汞的射頻電源資產和設計的放電產生高度均勻的蝕刻輪廓，具有精確和可重復的深度控制。LAM RESEARCH 590通過將電源與先進的閉環過程控制模型耦合,實現了對整個晶片的蝕刻速率和輪廓的精確控制。這種硬件和過程控制功能的獨特組合,可提高吞吐量、提高過程穩定性,並在工作溫度始終遠低於目標溫度的情況下提高蝕刻速率。590還配備了先進的蝕刻回收設備,具有自動維護和驗證功能。該系統允許從任何流程異常中快速恢復,並具有全面的設備和流程診斷功能。此外,該設備還包括一臺真正的閉環過程控制機,可實現快速、準確的過程診斷。總體而言,LAM RESEARCH 590是一款最先進的蝕刻器/asher,它以經濟高效的方式提供高性能和過程靈活性。硬件和過程控制工具可確保出色的蝕刻一致性和可重復的深度控制,而蝕刻恢復資產可在任何過程異常的情況下實現快速、準確的恢復。590是任何希望達到最大工藝性能和效率的實驗室或生產環境的絕佳選擇。