二手 LAM RESEARCH 590 #9160079 待售

LAM RESEARCH 590是一種蝕刻/灰化設備，主要用於大容量半導體生產中的蝕刻和灰化工藝。該系統由等離子體源、控制面板和腔室組成。10-kW供電的微波等離子體源允許對厚度不超過25 µm的材料進行精確和一致的蝕刻或灰化,並具有一系列可選擇的操作壓力和工藝。該裝置設計獨特，具有低溫、渦輪分子泵送的大氣層能力，以及8軌晶片處理機。8軌晶片處理程序可處理直徑不超過8英寸的200個晶片和直徑不超過200毫米的15個晶片,從而能夠高效、經濟高效地裝載和卸載基板。控制面板使用數字質量流控制器（MFC）對蝕刻深度和灰度深度進行精確、可重復的控制。該控制器設計用於保持穩定的壓力、溫度和流速,以便進行蝕刻和灰化。該室采用先進的屏蔽機，減少晶片對等離子體的幹擾，優化蝕刻/灰分均勻性。腔室在蝕刻或灰化過程中還提供惰性氣氛，通過有效控制環境來保持基材的完整性。590 蝕刻器/asher工具是一種先進的半導體加工工具，能夠一次精確蝕刻、灰分和清潔多層，從而實現更快、更具成本效益的生產。該資產設計用於在惡劣條件下的高效使用,具有六個可調壓力和溫度設置,以實現最佳工藝控制。該模型還針對晶片加載和卸載進行了優化,采用8軌晶片處理程序,可處理200個晶片,最大重量為15英寸,直徑為8英寸。LAM RESEARCH 590 蝕刻/asher設備是一種高效且經濟實惠的半導體生產工具。