二手 LAM RESEARCH 590 #9226108 待售

LAM RESEARCH 590 Etcher/Asher是一種多用途的沈積工具，用於表面塗層和改性的蝕刻和沈積材料。它使用獲得專利的等離子體產生「金剛石窗」技術來制作精確的蝕刻，允許用戶設計和塑造精確規格的金屬表面。它旨在為處理復雜的曲面修改任務提供經濟高效的解決方案,同時保持高吞吐量和精確的精度。590具有緊湊的尺寸,可適合實驗室和制造環境。它提供精確和可重復的沈積過程，促進高精度的表面修改和地形調整。其主要特點包括壓力和溫度控制，易於調整蝕刻速率和層厚，噴嘴尺寸可快速變化以及各種兼容的工藝氣體。LAM RESEARCH 590配備了高性能氣體系統，專為高性能處理而優化，能夠支持多種氣源和輸送系統。該蝕刻器能夠蝕刻高純度材料，以及具有不同混合輪廓的金屬，如不銹鋼和鋁。590還具有高分辨率多視圖光學系統,可以快速、準確地檢測沈積進展,從而無需進行樣品評估。LAM RESEARCH 590旨在通過使用集成的診斷和控制系統提供方便的維護和靈活性。該系統配備了帶數字加熱器的多區晶片卡盤、高速爐和可編程的過程和元件控制數字邏輯。此外，其先進的軟件體系結構允許過程控制和優化，以確保可重復和可靠的性能。590的一個獨特特點是它能夠在進行蝕刻和沈積過程時移動基板表。這使用戶能夠準確評估流程的結果，並根據需要實時調整參數。此外,它還提供了較低的擁有成本,使用戶能夠通過減少資本投資、運營成本和維護實現成本節約。