二手 LAM RESEARCH 590 #9226290 待售

LAM RESEARCH 590是一款用於半導體加工的最先進的蝕刻器/asher。它是一種全自動設備,提供高度的過程控制動態、高吞吐量和卓越的結果可重復性。該系統圍繞模塊化平臺設計,提供靈活的配置可能性。此集成平臺提供了業界標準的處理能力,可擴展到更高的級別。590具有高速、高密度的等離子體源模塊（PSM）,它提供對等離子體蝕刻速率和利用率的精確控制,以優化集成電路（ICs）和其他設備的處理。PSM為電感耦合和射頻等離子體源提供了三個獨立通道的選擇。該單元還包括熱隔離基板支撐、高密度基板熱交換器、多頭電壓源以及所有操作的先進實時軟件控制。LAM RESEARCH 590還具有先進的計算機處理器和軟件功能,包括過程監控。本機設計為提供均勻、可重復的效果和優異的長期穩定性。為確保優異的效果,該工具采用了自動焦點控制（AFC）和自動焦點共振鏡（AFM）。AFC資產控制光束位置，而AFM調整蝕刻速率以確保最佳的均勻性和可重復性。590還配備了先進的工藝基板控制和監控（PSCM）模型,可對所有加工參數進行集成的實時控制。該設備允許對過程參數進行綜合管理、監控和控制，包括壓力、溫度、射頻功率和氣體利用率。該系統還與行業-標準模式定義、仿真、優化工具完全兼容。LAM RESEARCH 590還支持存儲在設備硬盤上的高精度工藝配方,以便快速檢索和輕松設置。該機得到了LAM RESEARCH先進技術支持,可快速有效地解決問題。此高級支持網絡可確保客戶充分利用其蝕刻器/asher,並確保持續的過程優化。