二手 LAM RESEARCH 590 #9226292 待售

LAM RESEARCH 590是一種蝕刻器/asher設備,專為矽片圖樣設計和需要Etch和Ashing功能的特定應用而設計。這種蝕刻和灰分系統具有單一晶片處理的靈活性，提供了批量處理的準確性和可重復性。它具有氣流均勻、腔室體積小、整個腔室溫度低的特點，提高了沈積精度，提高了產率。該裝置還提供一種先進的氣體輸送機器，允許每個過程的氣體消耗最小。該工具還提供了一個高性能的射頻發生器，它具有完全的可編程性，可用於快速和可靠的過程。其增強型源/排水硬掩碼蝕刻室針對單晶片蝕刻進行了優化，提供了超高速率的蝕刻以及較低的ICP壓力。利用排放蝕刻室的源，該資產提供了廣泛的工藝溫度和功率水平，以滿足各種要求。而且，590可以配置額外的腔室和不同的蝕刻工藝能力，如濺射清洗、等離子體蝕刻和地下蝕刻。此模型可讓您靈活地根據需要自定義流程。此外,LAM RESEARCH 590可幫助您降低擁有成本,並以更低的運營成本使流程更加順暢。它的高級控制選項和直觀的GUI界面為用戶提供了滿足其陣列和蝕刻需求的完整解決方案。總而言之,590是業界領先的蝕刻和灰分設備,可提供極致的精度和過程控制。