二手 LAM RESEARCH 590 #9226293 待售

LAM RESEARCH 590
ID: 9226293
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Etcher, 6" 1990 vintage.
LAM RESEARCH 590是當今市場上最先進的蝕刻器和分類器之一。此設備旨在以最精確的方式有效蝕刻和/或粉刷小零件,使制造商能夠更及時地生產復雜和準確的零件。系統的功能是使用Cl2或O2等離子體源,這些源產生所需的蝕刻或灰化結果,對零件的損壞最小。與傳統的蝕刻和灰化方法相比,該單元具有幾個優點。它可以在同一運行中蝕刻和粉刷,從而大大減少停機時間。機器還能夠進行圖樣蝕刻和灰化,在此過程中,可以在特定配置中對零件進行蝕刻和/或灰化。這就創造了具有復雜和精確模式的零件,使它們非常適合微電子設備等高級應用。該工具還包括一個閉環控制資產,通過監測和控制時間、壓力、流量、溫度和其他過程變量,允許最佳工藝性能和可重復性。該型號配備了直觀的軟件設備,使操作員能夠快速、輕松地定制流程,並根據用戶的要求產生結果。該系統還提供了非凡的靈活性,允許用戶從幾個創造就業機會的選項中進行選擇,這意味著零件可以使用或不使用光刻膠進行蝕刻或粉刷,也可以使用或不使用圖樣。590設計易於使用和維護,包括易於清潔的蝕刻和裝載室,以及加壓冷凍槽,以保護設備免受汙染物汙染。該機還可以用多達30種不同的腔室配方進行編程,使其適合生產種類繁多的零件。總體而言,LAM RESEARCH 590是一款卓越的蝕刻器和Asher,具有先進的特性和功能,非常適合現代制造工藝。它能夠產生復雜、準確的形狀和模式,並為用戶提供各種創造就業和定制的選擇。
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