二手 LAM RESEARCH 590 #9232890 待售

LAM RESEARCH 590是一款高性能的蝕刻器/asher，設計用於對包括晶圓、基材、多氯聯苯、金屬和塑料在內的多種材料進行精密蝕刻和灰化。590是一種全自動設備，具有高分辨率單色儀和先進的過程控制系統。LAM RESEARCH 590專為最大吞吐量而設計,具有易於使用的多層預編程設置。590利用小占地面積集成子系統和簡化的用戶界面進行生產,操作員幹預最少,結果可靠。LAM RESEARCH 590是一個單晶片處理平臺，能夠容納廣泛的基材尺寸。它配備了兩個等離子體源，兩個真空級，以及一個內置溫度儀表的多點傳感器和樣板。此外，590還配備了輔助氣體輸送裝置，並提供了工藝氣體的選擇。LAM LAM RESEARCH 590先進的工藝控制機可確保目標表面的高精度蝕刻和灰化。利用其內置的PID調整,對590進行了優化,以保持對蝕刻和灰燼參數的嚴格控制,包括設置公差為+/-0.001 mm的層厚度的能力。此外,LAM RESEARCH 590能夠運行低周期時間（最多15000晶圓/小時）和高均勻性批處理過程。LAM 590旨在提高可靠性和效率。它采用全天候維護計劃,能夠快速檢測故障並提供診斷,以便於故障排除。此外,LAM RESEARCH 590還提供長期數據歸檔功能,允許用戶隨時間推移檢查其流程的狀態。590旨在提供最大的生產率、準確性和運營效率。它具有先進的工藝控制和自動化工具,非常適合要求精密蝕刻和灰化的生產要求。LAM RESEARCH 590是定制項目和大規模批量生產微電子、光電、數據存儲和半導體器件的可靠解決方案。