二手 LAM RESEARCH 590 #9275402 待售

LAM RESEARCH 590是先進的蝕刻設備，非常適合介電、金屬和氧化物的應用。該系統旨在為用戶提供可靠、高效的蝕刻工藝，適合批量和串聯生產。具有優異的工藝性能，590可用於蝕刻包括玻璃、矽和金屬在內的多種材料。LAM RESEARCH 590有一個堅固的工藝室，設計用於處理各種工藝壓力和溫度。該單元具有大型集成源板配置，是精密控制蝕刻速率的理想選擇。內置的流程算法和流程優化功能使用戶能夠實時調整流程參數。該計算機包括一個高級用戶界面，可用於配置配方、輸入工藝參數和監視蝕刻進度。590裝有高功率HF射頻發電機,能夠提供高達350W的功率來蝕刻目標材料。一種獨特的雙視圖光學工具用於監測目標材料界面的蝕刻速率，而氣流資產則提供對氣體輸送和過程流動的精確控制。該模型旨在提供最高級別的工藝可重復性，並對蝕刻率和沈積率進行綜合精確控制。LAM RESEARCH 590增強了介電和金屬沈積的均勻性，有助於提供無缺陷裝置。該設備具有低溫負載鎖定功能，可最大限度地減少顆粒生成，並充分利用工藝吞吐量。590具有先進的工藝控制和工藝優化特點，是電介質、金屬和氧化物材料蝕刻沈積的理想系統。