二手 LAM RESEARCH 594 #9308907 待售

LAM RESEARCH 594 蝕刻器/asher是一種大型生產設備，用於半導體加工，用於蝕刻淺溝、接觸坑或通風孔。該系統具有堅固的開放式框架設計,可減少維護頻率,延長運行壽命。該工具由兩個模塊組成,一個是僅批量蝕刻室,另一個是ashing模塊。它還具有可定制的硬件和軟件體系結構。蝕刻模塊中的僅體積離子源提供高能、單特異性的離子束，脈沖重復率高達40 kHz，最小占空比為10%。使用此單元,用戶可以通過標準層和高級掩蔽層蝕刻淺溝槽、觸點和通信層,一直到20 nm以下的分辨率。蝕刻模塊的手動等離子體工藝帶有智能離子源控制（SmartISC）技術，該技術允許用戶根據蝕刻輪廓調整離子束特性。594的灰化模塊在矽和光致抗蝕劑之間提供高達20：1的選擇性。它采用低壓等離子體的低功率垂直線性感應射頻源，快速清潔縱橫比緊密的深溝和溝底。垂直源還可確保接觸坑和溝槽中蝕刻圖樣的側壁鈍化。此外,LAM RESEARCH 594憑借其先進的自動化功能提供了出色的過程重復性。具有可變入射角的自動熱輔助淋浴頭旨在確保批次之間的過程重復性，也可用於接觸坑的蝕刻剖面。因此，594是深層基板和高長寬比蝕刻的突出工具，成為芯片設計者和半導體制造者的熱門選擇。憑借其創新的機器，LAM RESEARCH 594能夠提供高性能、經濟高效的蝕刻操作。