二手 LAM RESEARCH 690 #9151419 待售

LAM RESEARCH 690是一個定制的多室系統,具有多種配置選項,可提供高級功能來滿足蝕刻和灰化需求。它設計用於在多站過程中精確、幹凈地蝕刻/灰分基板。690由載荷鎖室、主蝕刻室和可調節高度的產品室組成。LAM RESEARCH 690的載重鎖室由兩門配置和兩個獨立的腔室組成，為裝卸精致基板提供了靈活性。載荷鎖室是按照嚴格的規格建造的，以最大程度地減少過量並提高整個系統過程的準確性。690的主蝕刻室設計有壓力、溫度、氣體輸送等可調參數。該腔室為晶體管蝕刻和先進材料沈積工藝提供了最佳環境。LAM RESEARCH 690具有雙氣體輸送源，可同時提供對兩種氣體的精確控制，有助於確保跨多種基板的均勻過程。此外，690家公司擁有一個獲得專利的晶圓錐度控制系統，能夠在工藝變化時精確、平穩地調整蝕刻參數。LAM RESEARCH 690的可調高產品室可確保各種基材的蝕刻後/灰燼操作能夠根據需要上下移動。該腔室還包含一個自動熱級板，這意味著目標基板保持在腔室內部與從主蝕刻腔室轉移的位置相同。該自動板還包括真空選項，提供了一個有效的，密封的基板。總體而言,690是一款功能強大的蝕刻器/asher,具有精確的規格和可調節的參數。其載荷鎖室、主蝕刻室、可調節高度的產品室為多種基材提供了終極平臺，提供了一致、準時的高品質效果。一個理想的工具，為那些尋求先進的控制和靈活性，他們的蝕刻和灰燼的需求。