二手 LAM RESEARCH 690 #9238723 待售

LAM RESEARCH 690是一款蝕刻器/asher，專為透晶片等離子體蝕刻而設計。它常用於半導體製造過程中，因其能夠在先進的製程步驟中達到優異的精度和吞吐量而備受追捧。690具有裝有蝕刻頭的多軸機械臂，具有完全可編程的高度和傾斜運動。這允許頭部通過一組復雜的坐標移動，從而提高了蝕刻的精度和均勻性。頭部具有寬視角，從0-90度，為平面和傾斜薄膜而設計。蝕刻室設計為提供最佳的等離子體密度。它包括幾個特點，如內部聚焦的淋浴頭，負責創建一個高密度的等離子體流，以及一個電子調節氣體噴射系統，允許精確控制蝕刻過程。LAM RESEARCH 690還具有先進的工藝控制軟件，可以對蝕刻工藝進行精確的控制。這包括工藝參數優化、氣體供應的自動測試、蝕刻層的實時監控以及對任何工藝異常的自動警報等功能。這樣可以確保流程平穩高效地運行。此外，690還提供了廣泛的附件和功能，如接口板、控制器和探頭。這允許為特定應用程序自定義系統。該系統也非常節能，總擁有成本低。總體而言,LAM RESEARCH 690憑借其多種特性、高精度、低擁有成本和出色的蝕刻能力,已成為業界領先的產品。它是半導體行業先進工藝步驟的理想選擇。