二手 LAM RESEARCH 715-440264-003 #293661555 待售

LAM RESEARCH 715-440264-003是一種蝕刻器/asher，一種半導體器件，用於在基板上蝕刻或粉刷電介質、金屬和其他材料。它是一種開放式管蝕刻器/灰化器，設計用於需要多模操作的化學過程，如幹蝕刻、抗灰化、濕剝離和等離子體蝕刻。這種asher/蝕刻器的特點是等離子體源由一個專有的射頻源和LAM專利的可調流型調節技術組成。這項技術能夠對蝕刻工藝進行精確調整和精確控制,提供了廣泛的工藝控制選項。這種靈活性對於實現所需的蝕刻結果至關重要。715-440264-003真空設備的設計提供了特殊的蝕刻速率控制與廣泛的工藝氣體汙染物。真空系統有助於最大限度地減少微粒和蝕刻副產品，實現精確控制和清潔基板。此外，它的清潔品牌模型提供了使用更高等離子體源溫度的選項，以產生最佳的蝕刻結果。LAM RESEARCH 715-440264-003還提供了一個先進的溫度控制設備.其定制的集成高溫烤箱可確保整個基板的溫度均勻性,從而實現精確控制。其獨特的可變溫度基板支架（VTOSH）提供了精確修改基板任何部分溫度的能力,為專用工藝提供了更大的靈活性和更精細的溫度控制。715-440264-003在可互換氣體設備方面有多種選擇，包括用於控制氣體引入和輸送的射頻多極氣體噴射器和用於監測腔室環境的惰性氣體傳感器。可選的多端口排氣機允許控制過程氣體和副產品的排氣，確保最佳的汙染控制。這個asher/etcher還可以配備一個用於自動設置和校正的指令過程顯示，允許操作員監控蝕刻過程以提高準確性。其先進的操作員界面和全面的文檔使其成為適合基礎和高級操作員的蝕刻器/asher。LAM RESEARCH 715-440264-003是一款先進的asher/etcher,具有多種功能,旨在提供精確的蝕刻結果。它的可變溫度基板支架，多端口排氣工具和過程顯示允許改進過程控制和調整專門的過程。其先進的熱資產和射頻源可實現精確的溫度控制和更高的等離子體源溫度。憑借其各種可互換氣體設備，715-440264-003是一個適合基礎和先進用戶的asher/etcher。