二手 LAM RESEARCH 790 #9088929 待售

LAM RESEARCH 790是一種蝕刻/asher設備，旨在容納各種類型的晶圓處理。適用於在所有類型的半導體晶片和介電膜上產生高質量、精確和可重復的結果。790配備了最先進的技術，包括用於精確蝕刻的多射頻（RF）電源，以及多個真空室，使得每個晶片在高吞吐量下都能以一致的精度進行處理。該系統由一個裝有加工室、真空和裝卸站的環境室組成。它還配備了多種可選工具和集成控制器，以根據特定應用量身定制設備，包括低k介電加工、氮化、化學/機械平面化、氧化物剝離和選擇性蝕刻。射頻電源為廣泛的應用提供了必要的蝕刻性能，如氧化物和多晶矽蝕刻、氮化、去除光致抗蝕劑和其他汙染物以及擴散區域的損壞退火。該電源的設計可提供高精度和穩定性,從而能夠精確控制工藝的蝕刻深度和蝕刻速率。這進一步得益於機器在加工過程中通過旋轉來定向晶片的能力。真空工具采用先進技術提供高流量、低壓氣體達到深真空。這確保了低成本、均勻的等離子體蝕刻和可重復的工藝結果。負載鎖定門戶和裝載機/卸載機模塊提供高速的晶圓傳輸,同時保持清潔的環境並實現最佳的生產效率。LAM RESEARCH 790資產超高效,具有雙總線架構,並具有高功率線性電源,可實現最大輸出。它還帶有直觀的用戶界面,符合行業標準,易於操作和維護。790 蝕刻器/asher是一種可靠且經濟高效的解決方案,可用於在所有類型的半導體晶片和介電膜上進行精確且可重復的蝕刻和灰化。其先進的射頻電源和高流率真空模型可提供可靠的、可重復的過程結果，且操作人員幹預最少，確保了過程的完整性和最佳的吞吐量。