二手 LAM RESEARCH 832-038915-101 #9363371 待售

LAM RESEARCH 832-038915-101是一種用於大型晶圓制造工藝的濕式板凳蝕刻器/asher設備。它能夠蝕刻/ashing晶片制成的基材材料，如矽，氮化銨，鉬等。該系統可以在整個晶片表面上蝕刻/灰分均勻的圖樣，對於25 um或更大的圖樣間距達到0.6 um或更高的轉彎精度。該機組由幾個關鍵部件組成，包括一臺RF發電機、RF功率調節組件、一個高速RF濺射室、多個流體端口和一臺高分辨率精密氣體分發器。射頻發電機用於為濺射過程提供電力，可以在高達4 kV的電壓和高達1 MHz的頻率下運行。射頻調節組件確保在整個蝕刻/灰化過程中傳遞到腔室的功率穩定。射頻濺射室可實現高速蝕刻/灰化,並且能夠處理直徑不超過12英寸的晶片。在腔室內部，高分辨率氣體分布器可確保蝕刻/灰分氣體在整個蝕刻/灰分過程中均勻流動。此外，氣體分銷商增加了機器的靈活性，允許用戶根據需要調整蝕刻/灰分氣體的流量和組成。流體端口使蝕刻器/灰燼工具與任何外部控制的液體或幹蝕刻/灰燼系統之間能夠通信。這些端口還允許引入反應性氣體，如O2、NH3或Cl2，並使蝕刻/灰分化學品得以再利用。最後,832-038915-101采用了特殊的材料,以提供卓越的蝕刻/灰分質量,並采用低維護設計和最小的停機時間。此外,該資產還支持在集中平臺上進行流程監控,從而簡化流程控制並提高吞吐量。