二手 LAM RESEARCH 839-019090-577 #293670008 待售

LAM RESEARCH 839-019090-577是一種化學輔助反應性離子蝕刻器，設計用於蝕刻先進材料，以增強設備生產。它采用層壓石英設備壁,具有高效的超低功耗操作功能,能夠以其他蝕刻解決方案的一小部分成本實現優異的性能。它設計用於在廣泛的工藝參數範圍內執行蝕刻操作，範圍從低壓（從1.5-2.5 Torr）到高壓（最大30 Torr）。839-019090-577還配備了多區化學輸送系統，可提供精確的材料沈積，同時仍保持即時適應不同工藝條件的能力。蝕刻器還具有等離子體推進單元，允許快速蝕刻吞吐量和超高等離子體密度。這加上高壓操作，允許對蝕刻過程進行高度精確的控制，降低了改變等離子體和化學參數的復雜性。此外，LAM RESEARCH 839-019090-577還提供各種配件，如不同尺寸的石英片、隔熱板和晶圓載體。接觸蝕刻時間、蝕刻壓力、等離子體反應物流速和成分等工藝參數可以很容易地進行調整，允許廣泛的基材被蝕刻，具有極好的均勻性和可重復性。即使經過較長的處理時間,蝕刻性能也能達到最大程度的蝕刻均勻性和可重復性。839-019090-577是高級材料蝕刻應用的理想選擇，如高長寬比接觸孔、通過孔的裝置和溝槽蝕刻。自動化的設置過程確保了蝕刻器的快速和方便的設置,而不會對精巧的石英系統造成任何損壞。LAM RESEARCH 839-019090-577是各種高級蝕刻應用的理想選擇,其性能僅為市場上其他蝕刻解決方案的一小部分。它的高壓操作，加上其多區化學輸送機的精確度，使得它成為需要快速周轉、均勻性、精確度的蝕刻工藝的可靠選擇。