二手 LAM RESEARCH 839-101612-883 #293664890 待售

ID: 293664890
Electrostatic Chucks (ESC).
LAM RESEARCH 839-101612-883 蝕刻器/asher是為電子設備制造而設計的高級加工工具。它非常可靠,能夠在單個腔室中執行各種蝕刻和灰化過程。該機也適用於介電、SOG或聚酰亞胺蝕刻和灰化工藝。由於其高效的設計,839-101612-883能夠在單個處理室內執行扁平晶片和激活晶片工藝。設備配備了多個電源,具有靈活性和穩定性,可在最短的停機時間內精確快速地優化過程。LAM RESEARCH 839-101612-883憑借其精確的壓力和溫度控制,能夠以安全可靠的方式進行蝕刻和灰化過程。該系統還能夠使用CCD攝像機將等離子體集中到狹窄的區域,從而使每個過程的總體效果更好。該單元還配備了自動化裝卸機,方便頻繁交換基材。在維護方面,839-101612-883需要最小的努力。該工具具有一個自我診斷資產,用於監視任何問題,並在出現任何問題時顯示錯誤消息。機器還有一個自我維護設計,由自我清潔過程組成,以提高壽命和性能。總體而言,LAM RESEARCH 839-101612-883是一款高級蝕刻器/asher,提供卓越的性能和正常運行時間可靠性。適用於介電、SOG、聚酰亞胺等各種蝕刻和灰化工藝。它還具有溫度和壓力的精確控制以及自動裝卸模型,以方便頻繁交換基板。最後,該設備還提供自我診斷和自我維護設計,以實現最大的可靠性。
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