二手 LAM RESEARCH 839-102001-069 #293646530 待售

LAM RESEARCH 839-102001-069是一個先進的等離子體蝕刻器/asher開發完整的晶圓級制造。839模型是一種專門設計用於精確蝕刻和粉刷半導體晶圓部分的自動化工具。系統高級控制系統由許多監視器和用戶定義的控件組成，以便於操作和精確的參數設置。839型號由一個機櫃內的兩個處理單元組成。主單元由300 mm電容耦合等離子體反應器組成，該等離子體反應器包含匹配的網絡和線圈負載、掃描靜電卡盤以及用於晶圓級蝕刻的平面射頻發生器。第二單元裝有載荷鎖和載荷/卸載臂系統，以增加產品的方便和精確處理。839型利用由1.7kW 13.56MHz射頻發電機驅動的平面天線以精確的能量和密度傳輸離子。該裝置還有一個計算機控制的多區氣體註入系統，可監測流量和溫度，提供對蝕刻剖面的精確控制，並提高可重復性。蝕刻過程從將晶片加載到掃描靜電卡盤開始，靜電卡盤通過靜電力將晶片延伸到加工室的表面上。射頻發生器隨後適當地為平面天線供電，在天線和晶圓表面之間形成電子電離等離子體的護套。然後開始向晶片施加離子通量，幫助蝕刻過程。在獲得所需的蝕刻剖面後，將一種凈化氣體引入反應器，從而關閉等離子體並終止蝕刻過程。凈化氣體還有助於包含蝕刻過程中的大量顆粒，因為必須仔細監測顆粒，以保持晶圓表面的清潔度。該裝置還提供灰燼工藝，以清潔晶圓的面向等離子的表面，並去除蝕刻造成的任何表面損壞。灰分工藝與蝕刻工藝類似，采用相同的射頻發生器和凈化工藝。839-102001-069是一個先進的蝕刻/灰化模塊化過程解決方案,提供精確、高性能的功能,最小的維護和最小的操作員監督。