二手 LAM RESEARCH 852-011061-103 #293661544 待售

LAM RESEARCH 852-011061-103是一種為生產過程而設計的蝕刻器/asher設備。該系統能夠處理各種化學物質，用於各種應用，包括氧化物蝕刻、光致抗蝕劑剝離和等離子體清洗。852-011061-103有一個專用的裝載臂，並與一個單一的加工室一起操作，這樣就可以對多個晶片進行高效和同時的處理。該單元設計為提供嚴格的過程控制，能夠實現精確的蝕刻輪廓具有高度的可重復性。為了確保精確的過程結果，該機器采用了一系列高精度的運動控制系統，包括機械視覺工具進行登記和一個飛眼組件定位資產。該型號配備自動裝卸站，標配直列式裝載機，允許連續運行，無需手動處理部件。設備還配備了溫度控制系統，在工藝室蓋上保持最佳溫度，在運行過程中保持穩定。此外，它還設有一個粒子監測裝置，用於檢測可能存在的任何粒子或汙染物。LAM RESEARCH 852-011061-103采用封閉式蝕刻室，具有低溫、低功率真空。這種真空能夠進行深蝕刻過程和高保形蝕刻過程，從而允許具有高選擇性和精確特征的等離子體蝕刻。該機還具有廣泛的自動切換氣體系統，可用於生產過程中不同步驟的多個氣源之間的自動切換。此外，852-011061-103還配備了壓力控制系統和壓力控制監控器，以檢查等離子體在加工過程中的穩定性，確保安全可靠的蝕刻。該工具還設計了一個用戶友好的圖形用戶界面，允許用戶設置參數、定義配方以及從安全距離監控資產性能。LAM RESEARCH 852-011061-103是一種可靠高效的蝕刻模型，旨在提供行業標準的結果。該設備具有強大的設計、精確的控制和廣泛的功能,是任何需要高度精確和可重復性的生產過程的理想選擇。