二手 LAM RESEARCH 852-030038-601 #293661559 待售

LAM RESEARCH 852-030038-601 蝕刻器/asher是半導體工業中用來制造元件的工具。它是等離子體加工工具的一種，是蝕刻器和灰燼器的組合。這種特殊的機器用於去除半導體晶片表面的不需要的材料。它通過利用電離氣體和鈍化氣體的組合來蝕刻不需要的層，同時使用一個asher通過消除殘留物來清潔表面。852-030038-601 蝕刻器/asher可以以高精度和高度的可重復性操作。這使得它能夠生產出具有精確設計公差的高質量半導體元件。該機還能夠具有多用途的工藝配方和易於調節的平臺特性，如改變功率輸出、降低蝕刻工藝速度等。這使得它適用於廣泛的蝕刻工藝和最佳的工藝配方優化。此蝕刻器/asher還具有高級處理器和自動化功能,可提供可靠和一致的結果。它具有多室設計和專用氣體分配系統，這對於控制氣體濃度和確保均勻的物料清除至關重要。此外，LAM RESEARCH 852-030038-601包括一個多梁平行蝕刻系統，允許精確形狀和輪廓控制蝕刻特征。852-030038-601 蝕刻器/asher具有諸如腔室吹掃和壓力傳感器等安全特性。這些工作確保在蝕刻過程中有適當的操作壓力，並防止腔室過壓。這確保了人員的安全和設備的保護。機器還具有主動溫度控制，以保持整個晶圓表面的穩定過程溫度。此蝕刻器/asher能夠提供高效、高速的蝕刻工藝。它還能夠利用其先進的組件和自動化功能減少周期時間和浪費。結合蝕刻和洗滌過程可以幫助降低總體成本和周期時間。LAM RESEARCH 852-030038-601 蝕刻器/asher是半導體行業的可靠工具,非常適合生產高質量、經濟高效的元件。