二手 LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D #9143212 待售

LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D是為晶圓加工和器件制造而設計的先進蝕刻設備。它使用化學、激光和熱技術的組合來蝕刻或圖案晶片，包括定制圖案層、多層和厚膜。853-012123-001-G-230D系統能夠對100-500mm晶圓進行陣列處理。它具有高精度光學單元，可精確定位晶片和光致抗蝕層。該體系結構旨在提供低成本、可靠的蝕刻和退火過程,同時仍能夠滿足眾多應用程序的過程要求。LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D的主要蝕刻和退火功能是一種先進的激光屏蔽技術。這臺機器的設計允許激光和熱保護從高能光束用於蝕刻和退火，同時仍然提供必要的晶圓圖案。為確保每一層都有精確的圖案，該工具具有精確的光學資產，可以進行球跟蹤和對準。此外，該模型旨在提高工藝的均勻性，並提供靜電和磁場，以便更好地控制晶圓圖樣和材料。對於蝕刻工藝本身，853-012123-001-G-230D采用兩種不同的技術。第一種是濕蝕刻工藝，用化學物質對晶圓表面進行圖案。二是幹蝕刻工藝，用氣態等離子體蝕刻表面。與傳統的蝕刻方法相比,這允許更高的圖樣精度和速度。此外,該設備還具有溫度控制功能,可增強蝕刻工藝.為降低顆粒汙染風險，LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D系統設有專用過濾單元。這臺機器減少了可以進入工具的空氣傳播顆粒和灰塵的數量。此外，蝕刻資產具有集成的監測系統，使操作員能夠更好地監測蝕刻過程並確保質量和準確性。最後，該模型具有強大的冷卻設備，以保護其組件免受加工過程中產生的高溫影響。總體而言，853-012123-001-G-230D系統旨在提供高精度的表面蝕刻和晶片退火。它具有一系列先進技術、強大的過濾和冷卻系統以及專用的監控功能,以確保最大程度的工藝準確性和可靠性。