二手 LAM RESEARCH 853-025083-001 #293641757 待售

LAM RESEARCH 853-025083-001是一種用於半導體器件制造的蝕刻器/灰化器。它是一種多腔、高密度的等離子體蝕刻器，能夠對各種基材進行圖樣化。853-025083-001設有四個裝有獨立射頻源的加工室，允許每個室同時蝕刻。每個腔室能夠產生高密度的等離子體來快速處理晶片。LAM RESEARCH 853-025083-001提供方便的維護通道,可通過雙向前裝載室進行。此外，其新的氣體輸送設備產生精確的氣流精確蝕刻參數。853-025083-001是一個先進的蝕刻系統，具有集成的邊緣偏置技術，最大限度地減少等離子體蝕刻輪廓。其改性的射頻電離器提供高密度等離子體，用於在晶圓上均勻蝕刻速率。由Plasmalab®驅動的源管理可靈活更改基板之間的蝕刻參數,以實現優化的蝕刻結果。同軸淋浴頭設計攪拌電離氣體均勻蝕刻結果。而且，二維工藝狀態驗證單元、實時端點檢測、溫度控制等提高了機器性能。LAM RESEARCH 853-025083-001包括一個自動化的計算機界面,可用於存儲數據、查看結果、優化過程參數以及快速更改組配方或從一個工具轉移到另一個工具。853-025083-001具有安全特性,包括浮動聯鎖工具和過程安全的外殼設計,可保護人員和環境免受危險等離子體和有害材料的侵害。LAM RESEARCH 853-025083-001是設計用於晶圓制造和半導體器件生產的先進蝕刻資產。它具有提供均勻蝕刻結果的功能,同時在蝕刻過程中將等離子體蝕刻輪廓減至最小。此外,它的自動化計算機界面允許用戶快速存儲數據、查看結果和優化流程參數。其安全特征還保護人員和有害物質的環境。