二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #293764229 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是為半導體器件制造而設計的濕工藝蝕刻/灰化設備。它采用了一整套先進技術,旨在提高工藝性能、降低總體擁有成本、降低汙染和提高安全性。9400 DFM系統由模塊化設計組成,可定制以具有廣泛的技術和過程應用。該單元包括完全集成成像、溫度控制、監控和質量流控制器（MFC）。這些組件共同實現了一致的沈積速率,確保了高質量、可重復的蝕刻/灰化。LAM RESEARCH 9400 DFM的多區域設計允許在過程的每個階段進行最佳的熱控制。DFM還包括一個獨特的功能，允許同時開發多個腔室和快速循環時間。9400 DFM機具有雙蒸汽輸送工具,允許更高的蝕刻選擇性、改進的均勻性和改進的工藝性能。該資產還包括一個專用晶片加熱器，可改進晶片表面的溫度控制，這對於生產高質量、先進的工藝設備至關重要。該型號還包括用於可選蝕刻化學傳遞的窗口晶圓酯端口和用於改進各向同性蝕刻的可選氫陽極。LAM RESEARCH 9400 DFM的平臺包括一個3800控制器設備和一套流程自動化模塊，確保可重現流程和可追溯數據。流程配方可以存儲在數據庫中,通過系統的OPC服務進行遠程訪問和直接控制。9400 DFM采用原位清潔和超壓防護技術進行工程改造，以減少等離子體引起的顆粒汙染的可能性，進一步提高工藝性能。總之，LAM RESEARCH 9400 DFM是高性能的設計，是制造先進器件和微電子工藝的理想解決方案。它為用戶提供靈活的配置、優化的溫度控制、集成成像、用戶友好的參數、快速的周期時間、先進的工藝自動化以及雜質保護。