二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9011879 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是一種先進的蝕刻/asher技術,用於創建具有一致結果的高精度模式。它的設計結合了光刻和蝕刻/灰化技術的優點,以最大的生產力提供卓越的效果。該設備的設計采用了簡化過程並快速高效地產生結果的功能。9400 DFM是一個緊湊但功能齊全的系統,具有閉環、機器人接口、高吞吐量和廣泛的工藝選項。它具有先進的垂直光刻單元，具有分階段圖樣和增強的場濺射機，能夠實現納米尺度的結果，具有可重復的精度。還包括可選擇步高的平面化和可移動基板卡盤，以便於材料進出刀具。LAM RESEARCH 9400 DFM提供非接觸式原位和後處理端點檢測，具有一系列測量薄膜特性的光學監視器，包括薄膜厚度、輪廓厚度和薄膜成分。這樣可確保在蝕刻/灰化的所有階段都具有高精度和準確性。該資產還可用於各種其他過程，如光刻和介電硬掩蔽應用。除了提供良好的蝕刻性能外,9400 DFM還提供使用以太網、USB或TCP/IP協議的可靠無線通信。這樣可以更快地傳輸數據和自動記錄結果。此外,該模型易於編程,並附帶一套軟件工具,使用戶能夠根據自己的特定需求自定義流程。LAM RESEARCH 9400 DFM適用於廣泛的行業，包括電子制造、半導體封裝、醫療器械制造、MEM和光學元件。它是為半導體制造業帶來最大生產力和可靠成果的可靠高效設備。