二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9181359 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是一款先進的等離子蝕刻器/Asher,在許多應用程序中提供無與倫比的性能。它采用了高度精確的時間和空間控制離子蝕刻工藝，在廣泛的蝕刻任務中取得了優異的成績，能夠在2.5納米以下進行蝕刻。9400 DFM可用於晶片、濾波器、薄膜等精細特征的精密蝕刻，精確度高。LAM RESEARCH 9400 DFM配備了兩個精密離子源（EIS）室，能夠提供真空和大氣處理。它還采用了雙模CF（碳纖維）技術，允許卓越的CVD（化學氣相沈積）和蝕刻性能。這是通過更高的等離子體密度和碳纖維獨特的原子貢獻相結合而實現的。該設備能夠蝕刻多種材料，可用於廣泛的應用。這些包括介電蝕刻、硬掩模蝕刻、接觸蝕刻、通過蝕刻和大馬士革蝕刻。蝕刻結果具有很高的可重復性，為斜面和光刻蝕刻提供了優越的邊緣和氧化物粗糙度。該系統還采用了一些先進的控制技術，以確保室的最高可重復性。它采用了先進的射頻偏置控制單元，使機器對離子能量和濺射具有優越的控制。它還包括一個稱為商會管理資產的先進自動化工具，該工具使9400 DFM的操作自動化，減少操作員的錯誤，提高正常運行時間和生產率。LAM RESEARCH 9400 DFM是一種高級蝕刻器/asher,用於產生高度精確的特征,可用於廣泛的應用。該模型具有多種先進的控制技術，以確保可重復蝕刻結果，其雙模CF技術提供卓越的CVD和蝕刻性能。它已經成為蝕刻性能的行業領導者，是半導體行業很多企業的首選蝕刻器。