二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9207998 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM是一種專門為滿足先進晶圓制造要求的挑戰性需求而設計的蝕刻器/asher。該設備能夠進行各種傳統的幹式和濕式蝕刻工藝，以及新的蝕刻/晶體生長和化學機械拋光工藝。該系統具有先進的過程控制軟件和最先進的光學封裝,為高端晶圓處理提供卓越的生產效率和質量性能。該單元能夠在平面和3D晶圓尺寸上蝕刻和灰化到亞微米尺寸和復雜結構的特征。雙交付系統可提高吞吐量和用戶靈活性。該機還具有先進的溫度控制和散熱技術,提供熱管理功能。9400 DFM隨附多種模組，例如專為增強薄膜沈積而設計的高壓換能器模組。它還具有一個高溫沈積模塊，對快速熱處理提供精確的控制。三室金屬灰光器等灰光器具有自動裝卸能力，可進行全自動操作。LAM RESEARCH 9400 DFM具有一系列先進的工藝監控功能，如反射計監控（RPM）和激光幹涉測量。這種先進的數字化工具可以連續監控蝕刻深度和溫度,以確保優化過程控制。此外，它還包括專門的控制系統，以監測生產數據或觸發潛在過程錯誤的警報。該資產還具有一層計量模型，提供了詳細的缺陷分析膨脹門結構和光刻層厚度。9400 DFM還提供先進的跟蹤技術，其中包括用於監測和過濾顆粒物和汙染物水平的粒子檢測設備。這導致產量和工藝結果的提高。該系統是為優化計量而設計的，其集成控制面板允許手動操作以提高靈活性。LAM RESEARCH 9400 DFM是一種多用途蝕刻器/asher,能夠處理各種高級蝕刻要求,適用於高精度制造工藝。該單元具有先進的過程控制功能和自動化模塊,可在半導體加工中提供卓越的生產效率和質量性能。此外,其先進的監控能力確保了卓越的工藝控制和生產效果.