二手 LAM RESEARCH 9400 DFM #9238153 待售

LAM RESEARCH 9400 DFM（Deep Feature Etch and Asher）是一種最先進的蝕刻和asher解決方案，旨在滿足先進半導體器件制造快速變化的需求。這種堅固耐用的蝕刻器/Asher具有很高的能力,但成本效益高,能夠對各種材料進行精確的蝕刻和表面清潔。9400 DFM通過強大的硬件配置提供了卓越的流程可靠性,包括經過驗證的可靠的PI/PID控制和先進的前饋設備,可實現精確的流程可重復性。LAM RESEARCH 9400 DFM卓越的定向蝕刻能力還提供了無與倫比的工藝幾何形狀和表面質量，其離子束基蝕刻為各種結構和幾何形狀提供了無與倫比的精度和控制。9400 DFM還包括多種高級硬件功能，包括全自動安全關機系統、多階段集成熱管理環境、快速釋放支持工具以及完全集成的負載鎖定單元。這樣可以確保過程安全可靠,使用戶對高產結果和可重復的過程性能充滿信心。LAM RESEARCH 9400 DFM還具有多個可選的附加模塊，如集成的粒子陷阱、防汙染屏蔽以及蝕刻後非接觸成像功能，允許用戶隨著時間的推移需求變化擴展機器的功能。9400 DFM的先進特性和強大配置使其成為先進半導體器件制造應用的理想選擇。此蝕刻器/asher能夠結合速度、精度和可靠的性能來解決即使是最復雜的過程要求,從而使用戶能夠將其設備制造提升到一個新的水平。