二手 LAM RESEARCH 9400 PTX #293767943 待售

LAM RESEARCH 9400 PTX是一種蝕刻器/asher,提供基於解決方案的深層等離子體蝕刻和灰化應用。它旨在處理最高的縱橫比精度結構和最深的臨界蝕刻，具有卓越的工藝重復性。這提高了制造工藝的吞吐量和產量,並保證了材料的最佳質量。LAM RESEARCH 9400PTX提供每小時500多個晶圓的最大吞吐量,非常適合各種大批量制造應用。該設備用於在單個腔室中處理單個或多個目標,從而提高靈活性和生產率。LAM RESEARCH 9400 PTXs先進的等離子體化學包括獨特的脈沖等離子體技術，提供高度的均勻性和可重復性，並最大限度地減少廢物量。該系統先進的工藝配方開發方法提供的工藝控制精度優於0.5 μ m。9400 PTX還提供了業界最高的一致性和運行到運行的可重復性。此外，9400PTX有一個集成腔室設計，使過程的穩定性和支持晶圓級溫度控制。其精密的晶圓傳輸單元可確保達到4英寸批量的精確、可重復的運動。機床的工具和配方訪問由機載計算機啟用,這為工程師提供了靈活性,使他們能夠準確、可靠地處理產品。腔室的維護特點、改進的安全協議和閉環過程控制應有助於降低總體操作成本，並最有效地利用過程氣體。LAM RESEARCH 9400 PTX還擁有一個易於使用的直觀平臺，為用戶提供對蝕刻工具的完全控制。它還提供了數據管理軟件，使用戶能夠輕松地導出數據進行分析，並存儲趨勢和多種配方的數據。綜上所述，LAM RESEARCH 9400PTX蝕刻機為復雜結構的精密深度蝕刻和粉刷提供了無與倫比的工藝精度和可重復性。其先進的等離子體化學和集成腔室設計，使其成為各種大批量制造的理想資產。9400 PTX是可靠、準確的蝕刻和灰化工藝的優選。