二手 LAM RESEARCH 9400 SE #293799084 待售
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LAM RESEARCH 9400 SE是一款高性能、經濟實惠的蝕刻器/asher,非常適合半導體制造應用。利用先進的等離子體幹蝕刻和灰化技術，為先進的產品開發和工藝優化提供了最高的產量和最大的生產吞吐量。先進的技術能夠精確控制過程變量,從而帶來卓越的產品性能。其中包括兩個獨立的腔室，一個配有雙頻感應線圈，一個配有雙頻射頻線圈，以及自動補充技術功能。集成設備通過提供精確的蝕刻參數,縮短復雜產品的上市時間,幫助用戶降低總體成本。15英寸大的低溫觸摸屏提供了完整的邊緣到邊緣的可見性,並簡化了數據記錄。LAM RESEARCH 9400SE提供15.6升的大室容量,可選擇三種不同尺寸的蝕刻室-6、7和8英寸。這樣可以在高溫蝕刻環境中實現高蝕刻速率。集成的原位端點檢測器模塊可確保過程的均勻性和可重復性。蝕刻系統的設計確保了極快的冷卻速率和亞微米特性分辨率。這有助於節省寶貴的時間並提高工作效率。它在所有晶圓尺寸和腔室配置方面也具有出色的均勻性。此外，該單元還包括一個晶片敏感器自動加載器和兩個晶片傳輸機制，以有效處理多個晶片批次。9400 SE為眾多蝕刻應用程序提供了巨大的過程靈活性和準確性。這些應用包括通過路由、閾值邏輯層以及用於高級封裝和高頻射頻設備的介電層蝕刻深層DRC/sub-0.25µm視圖。它還提供了增強化學控制、多步蝕刻、高級工藝集成和控制等高級功能，全部在一個單元中。該機器的設計有助於優化腔室疏散，比標準蝕刻系統減少最多50%的蝕刻時間。9400SE提供耐腐蝕的不銹鋼腔壁、柔性支撐板設計以及石英屏蔽和敏感器的精確對準。這樣可以以最低的停機時間和維護成本來確保優化的流程環境。總體而言,LAM RESEARCH 9400 SE 蝕刻/asher的先進技術優化了設計權衡,為成本敏感和快節奏的半導體制造過程提供了最大的性能和可靠性。該單元可提供高生產率、卓越的可靠性和低消耗成本,從而最大程度地節省成本。
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