二手 LAM RESEARCH 9400 SE #9226497 待售

LAM RESEARCH 9400 SE是為廣泛的晶圓處理應用而設計的最先進的蝕刻機asher設備。LAM RESEARCH 9400SE是一個多室單元，提供卓越的晶圓處理和可重復性，以提供卓越的性能，使其成為最可靠和用途最廣泛的系統之一。9400 SE的核心是晶片蝕刻灰燼，可能有多種選擇，如感應耦合等離子體（ICP）、化學機械平面化（CMP）和反應性離子蝕刻（RIE）。9400SE的標準組件在交替和單個工藝周期中提供高效和高級的蝕刻和灰化功能。支持主要蝕刻/灰化模塊的是多種機制,可確保出色的晶圓處理和安全性。LAM RESEARCH 9400 SE具有三軸晶圓運動模塊，能夠在X、Y和Θ軸上實現精確、可重復的晶圓運動。運動由高分辨率步進電機驅動，並由閉環反饋系統精確控制。該單元還配備了負載鎖定機，能夠快速的晶片裝卸。工具的內部壓力可以根據應用要求進行調整。LAM RESEARCH 9400SE設計具有廣泛的安全功能。這包括一個集成的殘余氣體分析儀，該分析儀監測蝕刻/灰化過程，以盡量減少汙染和對晶圓和工藝室的潛在損害。該資產還配備了提供實時故障檢測和修復的自動故障檢測和修復系統。最後,9400 SE專為潔凈室操作而設計,采用先進的靜電屏蔽材料,可確保電離輻射、EMF和EMI水平較低的恒定環境。9400SE滿足各類芯片生產工藝的嚴格安全要求，在晶圓級提供卓越的均勻蝕刻和熱均勻性。由於其先進的特點，高可重復性和均勻性，這種模型是理想的範圍廣泛的晶圓蝕刻灰工藝。LAM RESEARCH 9400 SE具有卓越的性能、可靠性和安全性,是一款功能強大的晶圓加工和生產工具。