二手 LAM RESEARCH 9400 SE #9230784 待售

LAM RESEARCH 9400 SE是一款設計用於半導體生產的高度先進的蝕刻器/asher。其高均勻性和準確性，加上模塊化架構，使其成為關鍵蝕刻應用的理想工具。LAM RESEARCH 9400SE具有兩個獨立的工藝室,配置為並行板狀設計,允許同時處理各種尺寸的多個基板。可以手動或在程序控制下調整壓板，以優化整個基板上的蝕刻均勻性。9400 SE還采用了LAM RESEARCH專有的DELTA™技術,允許對等離子體進行自動動態控制,以提高蝕刻的均勻性、平面性和吞吐量。直觀的用戶界面和嵌入式過程監視功能可確保快速且可重復的蝕刻。9400SE利用20微米聚焦離子束（FIB）技術進行關鍵蝕刻應用。通過控制離子束和電子束，可以優化蝕刻剖面和蝕刻速率。FIB單元還能夠在蝕刻過程中將各種離子植入基材中。此外，多個工藝室都配備了質譜能力，允許對整個蝕刻過程中的工藝氣體進行分析。LAM RESEARCH 9400 SE還包括一個原位清潔能力，可以方便快速地清除碎片。該單元還有可靠的電源支持,確保蝕刻器/灰燼的安全和一致運行。先進的冷卻系統進一步加強了LAM RESEARCH 9400SE的堅固設計，效率與加工基板的數量成正比。9400 SE為半導體行業帶來了開創性的蝕刻加工創新。其模塊化平臺支持多種蝕刻應用，提供經濟高效的商業解決方案。高性能和高效率是系統的關鍵特征，能夠實現一致和可重復的蝕刻結果。總而言之,9400SE可確保最高級別的可靠性,提供可靠且可重復的蝕刻處理。