二手 LAM RESEARCH 9400 #293762518 待售

LAM RESEARCH 9400是一種用於金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）工藝的自動蝕刻和灰化器。它能夠在-20°C至475°C的溫度下批量或單晶片加工。設備在高溫下工作的能力使得高質量的材料能夠快速高效的沈積。機器的大腔室允許加工直徑不超過12英寸、厚度不超過0.4英寸的晶片。9400由先進的用戶友好型系統控制,具有易於使用的人體工程學設計。該機組配備了氣體監測機、自動排氣等多項安全功能。它采用了擴散粘結泵房，通過蝕刻和灰化工藝提高了性能。LAM RESEARCH 9400還配備了高級軟件模塊，用於自動化流程，優化配方，提供實時反饋。該工具利用了多種蝕刻和灰化化學混合物，包括碳氟化合物、鹵化碳、碳氫化合物、硫和鹵素。它還能夠處理無菌過程，能夠快速測試和驗證產品質量。資產包括兩個或三個流程模塊,具體取決於客戶的應用程序。第一個工藝模塊是蝕刻器，用於沈積源氣體，清洗晶圓，並應用所需的蝕刻和灰化工藝。然後，第二個工藝模塊就是asher，它在清除任何殘留物的同時也便於去除表面汙染物。最後，第三個模塊是轉運器，它傳輸和固定晶圓在加工模塊之間移動晶圓。9400有幾種操作模式,包括專用蝕刻和灰化,以及組合蝕刻/灰化或蝕刻/補償。此外，LAM RESEARCH 9400還包括復雜的控制和監測系統，以監測溫度、壓力、流量和其他操作參數。最後,該模型可以自我診斷,以提醒您註意任何問題和錯誤,並提供寶貴的反饋,以提高流程效率並確保獲得最高質量的結果。