二手 LAM RESEARCH 9400 #293776309 待售

LAM RESEARCH 9400是一個業界領先的高吞吐量批量蝕刻器/asher,其設計和制造的可靠性很高,能夠滿足最苛刻的生產要求。它采用小巧、低調的設計,占地面積小,可優化任何制造環境中的性能。設備高度靈活，並配備了一系列高速蝕刻和晶圓ashing的定制選項。其中包括一系列工藝室和壓力控制面板,每個室最多有三個蝕刻器/灰燼,在一個系統中可提供最大的工藝能力。它可以配置用於多種工藝技術，包括光刻膠去除、表面平面化、材料蝕刻和介電蝕刻。該部門使用LAM的專有LatticePro™高級控制軟件,該軟件提供精確的蝕刻和灰分配方自動化,以及高級數據收集和報告功能。軟件由一系列配方和流程管理工具支持,使您能夠快速開發可重復和可靠的流程。該機提供多種安全功能，包括安全開關、能源監測和緊急停止系統。該工具還采用真空互鎖，在操作過程中保護工藝室和負載鎖，有助於最大限度地降低風險，提高工藝保真度。此外,還可以使用設備的以太網遠程監視資產。該模型的設計具有最高的性能，具有高通量的蝕刻器/灰燼，以及用於摻雜活化和擴散的快速晶圓加熱系統的選擇。此外，該設備設計用於最低限度的維護，具有優化的工藝室清潔周期和氣體壓力和流量的自我補償，使系統具有很高的可靠性和成本效益。綜上所述,9400是一款全面可靠的蝕刻器/asher,它是為滿足最苛刻的生產要求而量身定制的。它提供高水平的性能、靈活性和成本效益,使其成為任何工業制造操作的極具吸引力的選擇。