二手 LAM RESEARCH 9400 #293814136 待售

LAM RESEARCH 9400是一種高度先進的蝕刻器/asher設備,它允許廣泛的高級蝕刻和灰化工藝。該系統采用先進的斜角晶片室設計，具有廣泛的板載蝕刻和灰化技術，能夠實現快速、準確的蝕刻/灰分工藝。該裝置配有石英晶體微天平（QCM），精度極佳，速率快，均勻性和收率最佳。該機采用先進的基於PC的控制器，可實現快速可靠的作業控制，並提供一系列各種參數的工藝配方。該工具設計用於處理從2英寸到200毫米的各種尺寸,一次最多可處理100個晶圓。資產利用一系列高級附件（如專用計量工具）來改進流程結果。9400蝕刻器/灰化器可用於執行各種蝕刻/灰分工藝,如幹蝕刻和定向蝕刻,從而實現高長寬比填充和接觸孔以及雙面加工工藝。該模型適用於各種晶圓和掩模材料,從而提高了效率並提高了吞吐量。它還具有很高的可擴展性,允許同時執行基於批處理和單個晶片蝕刻/灰分處理,從而實現經濟高效的解決方案。該設備可以配備額外的氣源和獨特的多級工藝，從而實現復雜設備的最佳制造。LAM RESEARCH 9400由MARK 5500軟件支持,MARK 5500軟件是一個功能強大、直觀的軟件平臺,結合基於PC的Job Manager,可實現快速、輕松的參數輸入、優化和過程控制。集成軟件還為各種應用程序提供預定義的蝕刻/灰燼配方，以及對高級材料數據庫的訪問。該系統還得到了一系列後處理功能的支持，如氧化物平面化和鈍化，以確保最大程度地提高工藝的可重復性。總體而言,9400是一個高級蝕刻器/asher單元,專為高性能應用程序而設計。該機器提供了一個堅固和高度精確的蝕刻/灰分工藝，優化了一系列的基材和應用。該工具具有全面的支持軟件和高級工藝工具,是研究和生產環境的理想選擇。