二手 LAM RESEARCH 9400 #293814142 待售

LAM RESEARCH 9400是一款來自LAM RESEARCH的前沿蝕刻器/asher。9400是一種多功能、高性能的設備，能夠處理各種類型的蝕刻和ashing應用。LAM RESEARCH 9400以經過驗證的9200平臺為基礎,利用先進的多層自動化、高精度深度控制和先進的雙室操作,提供了更好的吞吐量能力。它為用戶提供了一個強大可靠的平臺，用於所有類型的蝕刻和灰化應用。9400采用雙室設計，帶有工藝室和凈化室，允許增加吞吐量。該系統集成了自動化多層控制技術，是一系列蝕刻和灰化作業的理想選擇。LAM RESEARCH 9400利用LamShare軟件包控制蝕刻和灰化過程,為用戶提供了一個非常直觀的界面,以便於操作。此外,該單元還具有最先進的3軸位置精度,高於行業標準,可實現準確和可重復的結果。9400具有出色的溫度均勻性,穩定性等級為+/-0.25 °C。這臺機器與KOH、H3PO4和XeF2蝕刻化學系統兼容。它能夠處理任何材料，包括矽和砷化氙。LAM RESEARCH 9400還提供均勻的蝕刻速率和受控的層力,有助於確保一致的結果。9400是一種環保的工具，利用零壓力泵，有助於提高蝕刻性能，降低能源成本。LAM RESEARCH 9400還采用了先進的紫外線（UV）工藝控制,提高了蝕刻精度,使其成為需要高度精度和性能的制造環境的理想選擇。除了9400的先進功能外，還融入了一系列安全功能，如加熱清洗歧管、安全聯鎖、手動緊急氣體關閉、ETCHGUARD™安全資產等，為運營商提供額外的安心。LAM RESEARCH 9400是一種高級蝕刻器/asher,適用於各種蝕刻和灰化應用。它提供了增強的吞吐量能力、先進的3軸位置精度、高度均勻的溫度控制以及廣泛的安全特性,使其成為高性能蝕刻和灰化作業的理想選擇。