二手 LAM RESEARCH 9400 #9151550 待售
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LAM RESEARCH 9400(又通稱「蝕刻器」或「asher」)是一種從半導體晶片表面蝕刻或化學去除材料的高精度工具。機器使用聚焦離子轟擊(即FIB)的過程,以高度均勻性和精確度蝕刻晶片上的線條、接觸開口和其他特征。9400被設計為可與多種材料一起工作,包括砷化銨、氮化銨、氮化矽和氮化鈦。LAM RESEARCH 9400產生的離子束能夠形成寬度小至20納米(nm),或0.00000002米的特征。9400能夠在幹蝕刻和濕蝕刻過程中操作。在幹蝕刻操作中,機器使用高壓產生強烈的離子束,這些離子束可以聚焦和操縱,以高速方式蝕刻各種形狀。在濕蝕刻操作中,使用化學溶液幫助蝕刻晶片表面的材料。LAM RESEARCH 9400是一種高度自動化和可編程的機器。其自動進紙系統允許晶圓的連續加載和輸出,有助於降低人工成本和提高生產周期時間。機器也可以被編程為重復特定的蝕刻過程,允許用戶一遍又一遍地快速重新創建相同的蝕刻模式。機器還提供了用於監視蝕刻過程和確保一致結果的內置診斷工具。9400在歐洲設計制造,廣泛應用於半導體制造業。事實證明,該機器非常可靠,能夠提供優異的效果,使其成為制造各種元件和電路板的寶貴工具。該機器還能夠在潔凈室環境中運行,這對於MEMS或Micro-Electro-Mechanical-Systems等敏感應用非常重要。
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