二手 LAM RESEARCH 9400 #9154664 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9154664
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
Loader: Auto loader
Option: Dummy port
Robot:
Single arm
Ceramic blade
Inner loadlock: Al arm
Outer loadlock: Al arm
HDD
Software: Classic
Generator top: AE, RFG 1250
Generator bottom: AE, RFG1250
Turbo pump: SEIKOSEIKI H1000L
Clamp type: ESC
Anodize type
Throttle V/V: ASS, 84021-R1
Gas box:
Cl2 / 200sccm / STEC / SEC7440 C2F6 / 200sccm / STEC / SEC7440
HBr / 200sccm / STEC / SEC4400
N2 / 10sccm / STEC / SEC7440 He / 200sccm / STEC / SEC7440 SF6 / 200sccm / STEC / SEC7440
O2 / 200sccm / STEC / SEC7440 O2 / 10sccm / STEC / SEC7440
AC Power rack: Chiller
TAITEC CH-800B
Dry pump: No
Currently warehoused.
LAM RESEARCH 9400是由LAM RESEARCH Corporation設計制造的Etcher/Asher。用於半導體工業中的蝕刻和灰晶片。9400是一個完全自動化的系統，包括了一些單獨的模塊和組件。它支持包括矽、碳、銅、鋁在內的廣泛的基材材料。該系統有單室和多室兩種配置，可提高大規模生產的吞吐量。還可以使用其他功能（例如集成式濕式工作板）對其進行定制,以滿足客戶的特定應用需求。LAM RESEARCH 9400有一個集成的過程控制器來管理晶圓高度和溫度。它在蝕刻和灰化過程中使用了多種氣體種類，如氙氣和氧氣。它可以在單相或多相模式下運行,具體取決於客戶的要求。它具有自動晶片處理功能,最多可同時容納5個晶片。9400專為潔凈室使用而設計，並符合最嚴格的ISO14001標準。它可以處理大小為0.1微米的粒子。此外，它還具有冗余過濾和氣體凈化系統，以盡量減少副產品和顆粒產生。LAM RESEARCH 9400專為易於使用而設計,具有直觀的命令驅動觸摸屏圖形用戶界面。它還具有用戶定義的協議,並且可以編程為自動執行日常維護任務。9400是一種可靠高效的蝕刻和灰分處理工具。其先進的自動化系統有助於確保高產率和高質量的晶片，具有一致的工藝結果。其內置的安全功能保證了操作人員和清潔室內其他人員的安全。
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