二手 LAM RESEARCH 9400 #9164962 待售

LAM RESEARCH 9400是一種先進的超高真空蝕刻器/灰化器,用於關鍵部件的精密蝕刻和灰化,如半導體制造過程中使用的部件。9400利用精確、精確的流量和壓力，結合嚴密的溫度控制，在低顆粒汙染下實現精密處理。它通過使用多個電極構型在GaAs和Si基板上均起作用，也適用於任何基板類型的幹蝕刻。LAM RESEARCH 9400包含用於晶圓載體的全金屬鎖載室，以及用於蝕刻和灰化的加工室，允許快速裝卸基板。主腔室通過一個可磁場滲透的合金窗口與鎖載腔室隔開，提供了最終的免受汙染的保護。系統的過程方面是通過使用安裝在腔內的兩組電極來處理的。它們采用直等離子體射流或帶通道的射頻改性等離子體射流配置，用於控制沈積速率，實現精確蝕刻，並消除過程中的漂移。9400能夠產生最高水平的加工精度，蝕刻速率在每秒100-10,000埃，長寬比高達40：1。它還支持最高級別的後處理控制,完全自動化配方和精確的過程監控,以及控制和數據記錄。LAM RESEARCH 9400還具有多項安全功能,包括故障自動關閉和報警通知,以及手動和可選的自動負載鎖,用於更換基板。總共9400集最新技術和最高精度於一身，為半導體制造生產線提供了強大的蝕刻器/灰化器。其優越的性能保證了最優質的基板能夠以最高的精度和可靠性進行加工。