二手 LAM RESEARCH 9400 #9250094 待售

LAM RESEARCH 9400是一款先進的蝕刻/asher設備。采用尖端技術設計了晶圓加工的最佳產量和吞吐量。它是一個緊湊的高通量系統，擁有廣泛的特定於應用程序的過程。9400構建在可擴展的體系結構上,旨在提供最大程度的控制和靈活性。它采用高性能蝕刻算法,能夠滿足高吞吐量和最高精度水平。該單元可以處理各種蝕刻參數，能夠自動調整蝕刻速率，以保持整個晶圓的工藝性能均勻。LAM RESEARCH 9400具有低壓兩級立版蝕刻器。這種設計不需要額外的加工室，允許一個更緊湊的機器。該工具還提供了一個先進的蝕刻源，利用一個盒裝加熱器，提供卓越的性能和產量。9400具有內置的流程監控資產,可確保整個流程周期的流程和工具完整性。LAM RESEARCH 9400還提供了一個大氣掃描儀，允許用戶監控和控制整個晶圓的蝕刻過程。其先進的氣體輸送模式，9400可以提供準確和可重復蝕刻剖面。此外，LAM RESEARCH 9400采用層層均勻性控制，包括逐區氮化物蝕刻和可調電流斜坡等特點，確保了可重復的工藝。它還配備了先進的模模監測，為更高的晶圓產量提供了更好的工藝控制。9400是一款功能強大的蝕刻/asher設備,非常適合當今領先的半導體生產技術的苛刻需求。LAM RESEARCH 9400以先進的材料和技術為基礎,是晶圓加工達到高產量和高吞吐量的理想系統。