二手 LAM RESEARCH 9400 #9250095 待售

LAM RESEARCH 9400是一款先進的等離子體蝕刻器/asher，設計用於進行高精度的蝕刻和沈積過程。它是一個先進的設備，支持多種蝕刻模式，允許高精度蝕刻具有高選擇性和均勻性。它用途特別廣泛,具有多種硬件和軟件配置,以符合單個項目的特定蝕刻要求。9400具有高度集成的控制系統,提供了用戶友好的界面,簡化了蝕刻過程的設置和操作。該裝置配有一個負載鎖室，用戶可以輕松地加載和卸載晶片，以及一個允許晶片多向移動的旋轉基板載波。將電動高度調節和完全可編程的蝕刻配方控制與激光幹涉儀運動控制相結合，為用戶提供了對蝕刻性能的精確控制。通過將大量專用的過程傳感器直接嵌入到機器中,可以實現過程監視和控制。這些傳感器測量諸如射頻功率、工藝室壓力和晶圓溫度等變量。通過提供有關工藝參數的反饋並提醒用戶註意任何有害的氣體或壓力相關異常,有助於確保一致的蝕刻性能。LAM RESEARCH 9400還配備了先進的傳感器來檢測工具內的汙染。這些傳感器采用復雜的算法來檢測潛在的材料沈積和腐蝕性堆積，為用戶提供有關工藝環境的實時數據，使他們能夠快速解決潛在問題。總體而言，9400是高級精密蝕刻（尤其是III-V、HfO2和SiO2等材料）的絕佳蝕刻工具。它具有強大而集成的控制資產、先進的監控功能以及使裝卸晶片變得簡單的負載鎖室。使用此模型可以增加蝕刻過程的耐用性和長度,用戶可以確保他們的項目掌握在良好的手中。