二手 LAM RESEARCH 9400 #9399063 待售

LAM RESEARCH 9400是一款先進技術的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體行業的嚴格要求。它旨在提供最大的多功能性和靈活性,同時提供生產級別的灰化、蝕刻和沈積工藝。9400結合了高端性能和成本較低的操作,使客戶能夠優化其生產操作以減少成本、浪費和停機時間。LAM RESEARCH 9400擁有一系列先進的技術和能力,可提供最高的性能和最低的擁有成本。離子束電流和能量精度在業內是無與倫比的，使其成為蝕刻最細膩復雜層結構的理想選擇。該系統利用自動過程控制、實時設置點調整和零件識別等多種技術和特點，確保處理過程中的準確性和可重復性。此外,9400還配備了LAM專有的基於高溫過程的流量控制器和直接驅動電動機,以優化灰度、蝕刻和沈積速度、效率和循環時間。LAM RESEARCH 9400包括一個用於控制氣體分配的集成氣櫃，用於快速工藝配方變更，以及高通量氣體混合能力。該系統的自動化過程流控制器（PFC）滿足了半導體行業最嚴格的要求,無論零件尺寸或配方的復雜性如何,它都能保持一致的蝕刻、蝕刻和沈積過程條件。該系統旨在提供可靠可靠的工藝解決方案，同時減少晶圓廠排氣和過量產生顆粒。快速更換的晶片加載配置確保生產不間斷,並且腔室設計為便於維護和維修。9400得到LAM RESEARCH綜合流程支持計劃的支持,以確保最高性能和最大的投資回報。