二手 LAM RESEARCH 9500 #9399062 待售

LAM RESEARCH 9500是利用等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）工藝進行蝕刻和沈積薄膜的先進蝕刻設備。該系統能夠以高吞吐率生成高級薄膜,非常適合大批量生產需要。9500 PECVD單元提供從室溫到高達500 °C高溫的寬廣工作溫度範圍。它還具有很好的工藝均勻性，提供了一致的薄膜厚度水平和均勻的沈積速率的能力。這臺機器提供高速率的沈積過程，使薄膜以快速的吞吐率沈積。LAM RESEARCH 9500室采用雙區結構建造，允許操作員獨立控制蝕刻和沈積過程。它還配備了兩個等離子體源，一個低頻ECR（電子回旋共振）和一個高頻RF（Radio-Frequency）。雙等離子體源提供了更多的蝕刻功率，提供了以更高的速率蝕刻和沈積薄膜的能力。9500 PECVD工具還提供了廣泛的基板兼容性，允許在鋁、玻璃、陶瓷和矽片等多種基板表面操作。此外,該功能模塊還提供了多種功能,包括高晶圓吞吐量、便於操作的自動試運行功能以及安全級別鎖定功能,這些功能只允許篩選經過驗證的用戶訪問資產功能。為確保安全,LAM RESEARCH 9500采用多層保護的多處理器控制器。它還設有一個隔離的真空室，防止危險化學品泄漏到模型之外的可能性。此外，該設備具有嚴格的壓力水平和溫度控制，以達到最佳性能並降低損壞和汙染的風險。總體而言，9500是一款具有雙區域設計和雙等離子體源的先進蝕刻器/asher系統，非常適合大批量生產需求。本裝置具有特點包裝操作模塊和嚴格的安全協議，是快速吞吐速率蝕刻和沈積薄膜的絕佳選擇。