二手 LAM RESEARCH 9600 FEFG #9183635 待售
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ID: 9183635
優質的: 1998
Metal etcher
Software version: Version E1.5
CIM: Ok
Main chamber:
(1) Turbo pump 1000 litre with controller
(1) E-chuck
(1) TCP RF Match
(1) Bias RF match
(2) RF Generators
(1) CL2 MFC: 180 sccm
(1) BCL3 MFC: 50 sccm
(1) SF6 MFC: 200 sccm
(1) N2 MFC: 100 sccm
(1) O2 MFC: 250 sccm
(1) Ar MFC: 100 sccm
(1) He UPC: 50 sccm
Strip chamber:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Auto WVDS controller
(1) O2 MFC: 2000 sccm
(1) N2 MFC: 300 sccm
(1) H2O MFC With controller: 500 sccm
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport:
(2) Integrated SMIF
(1) Wafer notch aligner with spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH 9600 FEFG是一款高度先進的蝕刻器，專為生產晶圓和平板顯示器而設計。它是大批量生產的絕佳選擇，具有廣泛的特點，使其成為任何生產線的理想解決方案。9600 FEFG是一款高精度蝕刻器，提供對多種材料的精確蝕刻，包括金屬、半導體和玻璃。該工具還具有不同深度和非常特殊形狀的選擇性蝕刻功能。該工具還旨在提供可靠的可編程性和高吞吐量,以實現最佳的生產效率。LAM RESEARCH 9600 FEFG的關鍵特點是其集成的運動控制設備。該系統保證了連續、完美的操作和卓越的性能，提供精確的定向和位置控制蝕刻。運動控制單元還提供了增強的可編程性，允許優化操作和增加吞吐量。此外，該工具的先進光學元件，加上集成激光器，確保了蝕刻線的精確和均勻蝕刻。激光可以配置為以不同的模式蝕刻,具體取決於應用程序。激光還提供了一個高度詳細的位置線被蝕刻圖像，允許深度的精確測量和精細線間隔的精確識別。在安全性方面，9600 FEFG提供了先進的防護措施，包括緊急停止功能和運動控制機鎖定。這樣可以確保工具的操作安全,而且不會造成過多的風險。此外,該工具還具有高度直觀的觸摸屏界面,可以輕松無縫地控制蝕刻器。界面還顯示蝕刻過程的詳細可視表示,允許操作員將可視圖像與蝕刻輪廓關聯起來。LAM RESEARCH 9600 FEFG是一種強大可靠的工具，非常適合生產晶圓和平板顯示器。它提供精確控制、易於編程、強大的安全功能以及高度直觀的界面。這使得9600 FEFG成為任何生產線的絕佳選擇。
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