二手 LAM RESEARCH 9600 SE #9172340 待售
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LAM RESEARCH 9600 SE是一種蝕刻器/asher,用於加工和清潔各類半導體器件的材料表面。它是一個旋轉蝕刻濕式站,為各種材料提供精確、高速的蝕刻工藝。它是一種經濟可靠的設備,設計易於使用和維護。該系統包括一個集成的200毫米晶圓處理器,用於高吞吐量和可重復性,一個內部路由器和用於高速處理的高級清潔模塊。符合人體工程學的設計提供了一個安全舒適的工作空間,帶有自動芯片加載功能,易於讀取的液晶顯示屏,以及方便的頂置煙霧罩。較大的腔室尺寸和使用12個噴嘴,可實現高效、精確的蝕刻,具有很高的重復性和更高的吞吐量。LAM RESEARCH 9600SE能夠處理潮濕或幹燥蝕刻工藝,包括標準和低溫加工。它支撐著廣泛的材料和底物,如半導體晶片、矽、石英和砷化的。它還具有一個氣體輸送單元,控制流量和組成,確保過程的均勻性和可重復性。該機還配有綜合軟件,提供刀具控制、參數調整、數據分析以及每次蝕刻運行的完全可追蹤性。這個復雜的軟件還向用戶提供實時結果數據,以及蝕刻過程中的問題通知、警報消息和資產關閉。9600 SE是工業級蝕刻濕式站,為各種材料提供快速可靠的表面處理。它具有直觀的用戶界面,具有很高的可重復性和效率。復雜的軟件和復雜的功能確保模型能夠提供預期的結果。其大腔室尺寸和集成晶圓處理程序使其非常適合大容量加工。
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