二手 LAM RESEARCH 9600 #199858 待售
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ID: 199858
晶圓大小: 8"
TCP metal etch system, 8"
Can be converted to 6"
Mounting: bulkhead
Software: Envision 1.52
Indexers: HINE
AC box: -001
Gas box: orbital welded
Clamping: ESC
Backside helium: closed loop
Generator: 3 RFG 1250
RF match: upper TCP, lower mini match, DSQ match
Turbo: SEKO SEKI 1000L
Turbo controller SEKI SEKI STP
VAT gate: VAT 65
VAT controller: PM-7
Endpoint: dual endpoint 703nm and 520nm
DSQ: hinged
WVDS: auto fill
APM: standard
MFCs: unit 1660
Gas config:
Gas 1: CL2 200
Gas 2: BCL3 100
Gas 3: SF6 100
Gas 4: N2 50
Gas 5: N2 1000
Gas 6: Ar 1000
Gas 7: O2 1000
Gas 8: CF4 200
Gas 9: H20 500.
LAM RESEARCH 9600是一款高性能的蝕刻器/asher設備,旨在為各種工業制造應用提供卓越的性能和可靠性。該系統具有集成的1或2氣體功能和先進的溫度控制功能,使用戶能夠在所需的精確水平上精確地蝕刻或燒灰材料。這對於薄膜沈積、半導體器件制造、薄膜包裝和光掩模制造等精密應用具有優勢。9600還具有低噪聲級別、基於數字窗口的控制器和板載診斷功能,非常適合自動化制造過程。易於使用的用戶界面讓用戶只需觸摸手指即可輕松訪問參數並即時進行調整。該單元還具有高性能射頻等離子體源，允許用戶實現優越的蝕刻速率和均勻性。LAM RESEARCH 9600還設有先進的控制系統，包括溫度傳感器和工藝均勻性控制器，使用戶可以輕松調整工藝參數，精確監控進度。其智能氣體輸送機有助於實現更高水平的過程均勻性和一致性。其他功能包括：用於精確蝕刻速率和均勻性的通用襯裏、先進的電源和控制器、便於維護的模塊化結構、按鈕式氣體啟動器、更高的吞吐量和產量,以及可選的LAM RESEARCH車隊管理。為防止汙染，9600擁有全自動高效循環廢氣，有助於捕獲顆粒物並防止其進入蝕刻室。這有助於確保質量和一致的蝕刻結果。總體而言,LAM RESEARCH 9600是一款高效、可靠、高效的蝕刻器/asher,非常適合工業制造應用。憑借其先進的特性和功能,它可確保卓越的性能和可靠性,幫助企業提高生產效率和效率。
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