二手 LAM RESEARCH 9600 #293822608 待售

LAM RESEARCH 9600是一種等離子體增強的化學氣相沈積蝕刻器/灰化器，旨在產生高質量、高通量的小、大基板蝕刻和灰化。這種先進的蝕刻器/asher設計用於處理各種基材材料和工藝，提高工藝的可重復性。9600采用專利統一設計，以確保氣體在整個晶圓表面均勻分布。它還具有雙面氣體輸送系統，對蝕刻和灰化過程提供更高的精度和控制。這種蝕刻器/asher具有雙解鉤端點技術,它提供了比單端系統更高的蝕刻深度、速率和選擇性控制級別。LAM RESEARCH 9600還具有更高的晶圓與平均功率密度比,以實現更高的可用性和更低的功耗,以及更高的吞吐量。9600的設計增加了一個遠程等離子體源,使蝕刻過程能夠超過各種靈活的過程參數。遠程等離子體源集成到蝕刻器/asher中，允許用戶實時調整過程參數。這些工藝參數包括蝕刻速率、選擇性和過度蝕刻/底切。集成還可以通過消除對額外等離子體來源的需求來加快循環時間。LAM RESEARCH 9600配備了多區域排列電機定位器，用於精確的運動控制和可重復性。這樣可以確保晶片在每個蝕刻/灰分循環中以相同的均勻方式移動。該定位器還為處理周期的其他方面提供運動控制，包括閘閥和快門運動。9600設計有集成的流程監控和診斷系統,可提供有關流程性能的實時反饋。然後使用此反饋來確保最佳結果並最大程度地減少設備停機時間。集成工具還具有事件記錄和錯誤檢測等多種功能。LAM RESEARCH 9600設計了一系列可選的外圍組件,如負載鎖和冷氣分銷商。這些組件允許用戶進一步自定義流程並提高流程性能。蝕刻器/asher的其他功能包括防粘滯系統、快速開放時間和廣泛的工藝溫度。總體而言,9600是一款高級蝕刻器/asher,旨在提供卓越的質量和改進的過程可重復性。它采用高性能組件和功能,以及一系列可選的外圍設備和高級流程監控功能,為用戶提供出色的蝕刻和灰化性能。