二手 LAM RESEARCH 9600 #9186503 待售

LAM RESEARCH 9600
ID: 9186503
晶圓大小: 6"
Metal etcher, 6".
LAM RESEARCH 9600是一款高級蝕刻器/aspher,旨在促進高精度蝕刻和灰化工藝。9600幾乎可以蝕刻任何材料,並利用模塊化腔室設計最大限度地提高正常運行時間和工藝靈活性。它配備了多個源和水槽模塊,可實現精確、高通量的蝕刻和灰化工藝,以及高達75 μ米的蝕刻厚度深度剖析和小於2 nm的低能灰化。先進的循環計算機和功能強大的軟件套件提供了全面的控制和精確的結果,並且易於配置用於精確循環和過程優化。LAM RESEARCH 9600先進的真空監測和控制系統確保精密的蝕刻和灰化條件,低顆粒排放,保持腔室和晶圓環境清潔,最大收率。它還具有可選的Load Lock,允許與其他設備完全集成,從而獲得最大的靈活性。9600是自動化的,易於操作和控制,以及具有廣泛用戶界面和可編程設備的界面。總體而言,LAM RESEARCH 9600提供了可靠、準確、高精度的蝕刻/灰化解決方案,以滿足半導體、封裝和顯示行業的需求。
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